AES俄歇電子能譜儀,俄歇電子能譜儀AES分析公司,宜特檢測(cè)
俄歇電子能譜儀(AES)
俄歇電子能譜儀(AES)是一種分析材料表面**形態(tài)及化學(xué)結(jié)構(gòu)的儀器，可適用于電機(jī)、機(jī)械、電子、材料、化學(xué)、化工等研究領(lǐng)域。
其原理為利用電子束為激發(fā)源，當(dāng)原子的內(nèi)層電子受激發(fā)而脫離原子時(shí)，原子的外層電子將很快的遷降至內(nèi)層電子的空穴并釋出能量，而激發(fā)另一外層電子使其脫離原子，激發(fā)而脫離原子束縛離開(kāi)試片表面的電子即為俄歇電子(Auger Electron)，此電子同樣具有**該原子特性的能量，因此分析俄歇電子亦可得材料成份的信息。
功能介紹
Survey of the sample surface (樣品表面元素分析)
Auger depth profile (以Ar+(3kV 1uA)蝕刻樣品表面，得到元素縱深分析)
Auger mapping (在選定范圍內(nèi)作元素分布影像圖)
ECSA(XPS) (以X光照射樣品表面，偵測(cè)其被游離之光電子，判定其材料元素鍵結(jié)分析)
關(guān)于宜特：
iST始創(chuàng)于1994年的中國(guó)臺(tái)灣，主要以提供集成電路行業(yè)可靠性驗(yàn)證、材料分析、失效分析、無(wú)線認(rèn)證等技術(shù)服務(wù)。2002年進(jìn)駐上海，全球現(xiàn)已有7座實(shí)驗(yàn)室12個(gè)服務(wù)據(jù)點(diǎn)，目前已然成為深具影響力之芯片驗(yàn)證第三方實(shí)驗(yàn)室。
俄歇電子能譜儀(AES)
